日本Microphase 分子束外延系統
美國 那諾-馬斯特 NRE-3500 (A) 全自動RIE反應離子刻蝕機
美國蝕刻和剝離系統 CESx124
德國分子束外延 Laser MBE
實驗室專用原子層沉積設備 Savannah100,200,300
CIONE系列Mini 等離子反應離子刻蝕機
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