準分子激光器：CLS 5000
準分子激光器是傳統的氣體激光器，由于波長短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應用上，準分子激光器在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導的地位。
CLS
5000技術參數:
激光介質 | ArF | KrF | XeCl |
波長 (nm) | 193 | 248 | 308 |
最大脈沖能量 (mJ) | 15 | 25 | 12 |
最大重復頻率 (Hz) | 500 | ||
最大平均功率 (W) | 7.5 | 12.5 | 6 |
脈沖能量穩定度(sigma, %) | < 2 | ||
光斑尺寸 (VхH, mm) | 12 х 3.5 | 12 х 4 | 12 х 4 |
光束發散角(FWHM, mrad, VхH) | 2 х 1 | ||
脈沖持續時間 (FWHM, ns) | 10 – 12 | ||
冷卻方式 | 水冷 | ||
重量 (kg) | 85 | ||
尺寸 (LхWхH, mm) | 890 х 340 х 460 | ||
電源 | 220 V, 50-60 Hz, < 1000 VA | ||
可選功能和附件：
可能配置1000和2000赫茲
CLS 5000主要特點：
非常高的光束指向穩定性
高重復頻率
能量穩定性好
設計緊湊
內置能量控制
帶磁轉換發生器
應用：
布拉格光柵
無掩膜光刻
準分子材料加工
激光視力矯正