準分子激光器:7X200
準分子激光器是傳統的氣體激光器,由于波長短(紫外),短脈沖寬度,高脈沖能量,是激光器家族不可替代的品種!應用上,準分子激光器在脈沖沉積鍍膜(PLD),光纖光柵刻寫,LASIK,光刻,微納加工等方面占主導的地位。
7X200技術參數:
波長 (nm) | 248 |
最大脈沖能量 (mJ) | 1000 |
最大重復頻率(Hz) | 200 |
最大平均功率 (W) | 150 |
脈沖能量穩定度(sigma, %) | < 1.0 |
光斑尺寸 (VхH, mm) | 36 x 17 (± 2) |
光束發散角(FWHM, mrad, VхH) | < 3.5 x 1.10 |
脈沖持續時間 (FWHM, ns) | 30 |
冷卻方式 | 水冷 |
重量 (kg) | 750 |
尺寸 (LхWхH, mm) | 2300 x 750 x 1200 |
電源 | 380/220 V, 50/60 Hz, 1200 VA |
7X200主要特點:
高脈沖能量
高平均功率
高壓固態開關
功率穩定運行模式
內置的能量檢測器
內置能量無油真空泵與鹵素過濾器
預混料氣體,使用簡單
計算機控制
應用:
脈沖激光沉積技術
準分子激光退火