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  • 進口四探針電阻率測試儀(4PP)/方塊電阻測試儀 280SI
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進口四探針電阻率測試儀(4PP)/方塊電阻測試儀 280SI 進口四探針電阻率測試儀(4PP)/方塊電阻測試儀 280SI

進口四探針電阻率測試儀(4PP)/方塊電阻測試儀 280SI

  • 美國Four Dimensions,Inc, 簡稱“4D”,成立于1978年,位于美國加州硅谷的Hayward, 4D公司專注于四探針設備和CV儀的生產和銷售,累計銷量達800臺以上,遍布世界各大半導體Fab, 太陽能光伏企業,大學及科研機構。

產品詳情

美國Four Dimensions,Inc, 簡稱“4D”,成立于1978年,位于美國加州硅谷的Hayward, 4D公司專注于四探針設備和CV儀的生產和銷售,累計銷量達800臺以上,遍布世界各大半導體Fab, 太陽能光伏企業,大學及科研機構。

美國4D公司的四探針/方塊電阻/電阻率測試設備:280SI (4D品牌中最普及的型號)

  • 測量尺寸:晶圓尺寸:2-8寸(333系列可測量大至12寸晶圓,1100系列可測量大至2160mmX2400mm平板系列)

方形片:大至156mm X 156mm;

  • 測量范圍: 0.001歐姆/平方 至 800000歐姆/平方(標準型);

可往下擴展至:0.0001歐姆/平方,往上擴展至8e9或8e11歐姆/平方。相對應的電阻率,薄膜厚度根據不同材料不同應用而不同,但都是以方塊電阻作為基礎設備自動計算得出,注意這是選項價格要高不少,建議客戶按實際需求選擇購買。

  • 測量方式: 電腦程序自動測量,或不連電腦單測量主機也可實現測量和數據顯示,此時非常適合測試不規整樣片單點測量,適合實際研究需要。

  • 測量的數據: 方塊電阻/電阻率/薄膜厚度,根據具體應用可以設置不同測量程序。

  • 測量的點數: 程序編排任意測量點位置及測量點數量,對應不同客戶不同測量要求任意編程測量點位置與數量。

  • 測量的精確度:<0.1% (標準模阻);

  • 測量重復性:<0.2% (特定片子);

  • 測量速度:>45點/分鐘;

  • 測量數據處理:根據需要顯示2D,3D數值圖,或按要求統計并輸出Excel格式文件;

  • 邊緣修正:具有邊緣修正功能,即片子邊緣3mm以內區域都能測量;

  • 探針材料:鎢鋼與硅片的接觸電阻最小,且耐磨。另外每跟針的軸套采用非常耐磨藍寶石材料,以確保長時間使用后間距的一致性;

  • 探針壓力可調范圍:90-200克之間可調;

  • 可供選擇的探頭類型:根據測試不同工藝要求有A, B,K, M, N等相關型號探頭選擇,另外還可提供專門為客戶定制的應用特殊要求的探針,比如測試薄至30A的薄膜時需要使用MR型探頭,這是四探針設備供應商少有能做到的。

  • 設備應用

IC FAB/FP dispaly/LED:擴散,離子注入等摻雜工藝監控調試,薄膜電阻率或厚度測量等工序,如Intel,IBM,Motorola,TSMC,CSMC,Applied Materials,Sematech,Linear Technology,Tokyo Electronics,Materials Research,RF Monolithics,Linear Technology,Perkin-Elmer Optoelectronics,Candescent Technology,Hewlett-Packard,SHE America/Japan/Europe,Flip Chip,Delco Electronics,Lite-On Power,Goldstar,Korea Electronics,Posco Huls,SGS-Thomson,CarborundumCodeon,TRW Space&Electronics,Dynamic Research,EKC Technology,Hughes Aircraft,International Rectifier,LG Display,Semitech,Winbond,RF Monolithic,Osram...

材料類研究:杜邦(中國),電力科學院,中科院,山東科學院,清華大學,北京大學,復旦大學,華師大,電子科大,國家標準化所,質檢所,光伏科學與技術國家重點實驗室,Applied Materials, Materials Research...
    新能源:尚德,晶澳,英利,阿特斯,天合,LDK,海潤,騰暉,鑫輝,東磁,向日葵,奧特斯維,尖山,晶科,力諾,韓華,神舟,光為,艾力克,吉陽,東營,中盛,First solar,Solar world...
             

  • 客戶群廣:國內已經賣出近300臺之多,全世界累計各種型號四探針設備近千臺,四探針設備的優質品牌。


  • 使用成本

4D公司所提供的探針質保次數是25萬次,而實際從客戶反饋的信息是壽命達到100萬次以上,甚至150萬次以上。同時4D還為客戶提供探頭的探針更換服務,大大降低客戶的使用成本。


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