LSC是占地面積較小，并且很容易安裝在空間有限的超凈間中。該系列設(shè)備都具有出眾的清洗能力，并可用于非常廣泛的基片。
LSC-5000 (AD)全自動(dòng)兆聲大基片濕法去膠系統(tǒng)應(yīng)用：
光刻膠去除/剝離
硅片
藍(lán)寶石片
圓框架上的芯片
顯示面板
ITO涂覆的顯示屏
帶保護(hù)膜的分劃版
掩模版空白部位
掩模版接觸部位
帶保護(hù)膜/不帶保護(hù)膜的掩模版
LSC-5000(AD)全自動(dòng)兆聲大基片濕法去膠系統(tǒng)的特點(diǎn)：
支持450mm直徑的圓片或15”x15”方片
帶兆聲、DI、刷子、熱DI、高壓DI、熱氮、化學(xué)試劑滴膠臂的大腔體
帶化學(xué)試劑滴膠的刷子轉(zhuǎn)速可調(diào)節(jié)
帶LABVIEW軟件的PC全自動(dòng)控制
觸摸屏用戶界面
機(jī)械手上下載片，帶EFEM以及SMIF界面
安全互鎖及警報(bào)裝置
30”D x 26”W 的占地面積
LSC-5000(AD)全自動(dòng)兆聲大基片濕法去膠系統(tǒng)選配項(xiàng)：
化學(xué)試劑傳輸模塊
Piranha溶液清洗
臭氧化DI水（20ppm的O3）
氫化的DI水
高壓DI水
熱DI水
溶劑和酸分離排放
IR紅外加熱
DI水循環(huán)機(jī)
耐火立柜
聯(lián)系人：林經(jīng)理
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