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  • 德國Diener 電鏡專用等離子清洗機Femto
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德國Diener 電鏡專用等離子清洗機Femto

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產品詳情

德國Diener 電鏡專用等離子清洗機Femto

Diener電鏡專用等離子清洗機


用途:德國Diener 電鏡專用等離子清洗機Femto(圖1)

   主要用于除去透射電鏡樣品及樣品桿上的污染,防止碳沉積以降低圖像分辨率及對樣品微區分析造成誤判。還可以利用該儀器清洗各類光闌等電子顯微鏡配件。特別適用于場發射掃描電鏡和場發射透射電鏡。用這種低能高頻等離子體清洗樣品表面,不會改變樣品元素成份和表面結構特征。


主要技術參數:


1.       可對多孔碳膜進行高效且無破壞的清洗,提高樣品在低電壓下的成像能力,在化學微量分析時提高其精度

2.       無油真空系統:泵體部分由多級隔膜泵和超凈音分子泵組成,在保證真空度的同時,可在兩分鐘之內達到抽真空和放氣過程,整個清洗過程在4分鐘內可以完成

3.       可清洗標準透射電鏡樣品桿

4.       可清洗多孔碳膜

5.       清洗時間:普通污染樣品小于2分鐘,重度污染樣品小于10分鐘

  6.  重現性:可以自動記錄下同類產品清洗的條件,下次清同類產品時可以樣條件進行


技術規格:

控制方式手動控制
發生器40KHz,0~100W
腔體材質高硼硅玻璃
腔體尺寸Dia.90*L280mm
氣路

單路

清清時間旋鈕式計時器0~99hour
壓力控制范圍0~2mbar
外型尺寸W345*D420*H211mm
電源電壓單相AC230V,16A
真空泵排氣速度4m3/hour,極限真空度0.5Pa
選配
發生器2.45GHz和13.56MHz
腔體材質石英玻璃
氣路雙路
計時器數字式計時器
減壓閥配專用氣路接口
鋼瓶10L




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