CIONE系列Mini 等離子反應離子刻蝕機
四探針面掃描電阻率 CDE resmap 178
進口四探針電阻率測試儀(4PP)/方塊電阻測試儀 280SI
NSC-3000 (A) 全自動磁控濺射系統
MC-LMBE / PAC-LMBE 激光分子束外延系統
脈沖激光沉積系統 Pioneer 180 MAPLE PLD
PEALD 原子層沉積系統
NLD-3500 (A) ,全自動原子層沉積系統
SAL3000原子層沉積系統
原子層沉積系統 R系列
PECVD+RIE等離子體增強化學氣相沉積和反應
Denton 等離子體增強型化學氣相沉積 PE-CVD
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